Wavetek MS1000 Manual de usuario Pagina 51

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Technologische Anlagen Anlagen der Hybrid- und Lasertechnik Seite 51 von 60
Prozessofen PEO-603
Hersteller: ATV Technologie GmbH
programmierbarer Prozessofen mit zylindrischer Quarzglas-
prozesskammer
steile Aufheiz- und Kühlrampen
wassergekühlter A/jointfilesconvert/288675/bgasblock für Vakuum
max. erreichbares Vakuum bei 999°C <10-5 mbar
Vakuumsystem für < 10-² mbar, inkl. 2-stufiger Dreh-
schieber-Vakuumpumpe mit Ölfilter und Pirani-Vakuum-
Messsystem, mit elektromagnetischem Eckventil
Gasvorwärmung mit separatem Regler, max. 850°C
Gastemperatur
Messung der Temperaturverteilung und Einstellung
Fine-Tuning der 5 Heizzonen für optimale Temperatur-
verteilung über die Keramiksubstrate
Ofenverkleidung für Reinraum
Zubehör: zwei Vakuumflaschen, DN40KF, DN63ISO
einhängbarer Quarzglas-Warenträger für -kassetten und
–platten mit Gasfluß zwischen jedem Substrat der
Quarzhorden
Quarzhorde für 40 Substrate 4“ x 4“, max. 3 bestückbar
Schnittstellenwandler mit Software zum Dokumentieren
des Vakuumwartes
Software für RS-232 (Windows 95/98/NT)
Inventarnummer: TA-00013
VP-Lötanlage SLC 300
Hersteller: IBL-Löttechnik GmbH
Grundausstattung ohne Mediumfüllung
WST-Adaptereinheit für Thermoelemente
NiCrNi-Thermoelement für Anschluss an Messadapter,
1000mm lang
Edelstahl Auflagegitter f. WST, 2mm Maschenweite
AFS, Optimierung der Sichtverhältnisse über der Dampf-
decke
Zubehör: 4 St. Mediumfiltereinsatz, Filter
10 St. O-Ring für Filtereinsatz, Vitondichtring 80x3
(Filterpatrone Mediumfiltereinsatz)
4 Messfühler
Dokumentation: 2 Bedienungsanleitung
Hardwareplan
Installationsplan
Inventarnummer: TA-00014
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